晶圆缺陷检测设备官网
产品中心 / 2024-01-16
晶圆缺陷检测设备官网文章 什么是晶圆缺陷检测设备? 晶圆缺陷检测设备是一种用于检测晶圆表面缺陷的设备,主要应用于半导体制造行业。晶圆缺陷检测设备可以检测出晶圆表面的各种缺陷,包括但不限于划痕、氧化、污染、裂纹等等。这些缺陷如果不及时发现和处理,会影响晶圆的质量和性能,从而影响整个芯片的质量和性能。 晶圆缺陷检测设备的工作原理 晶圆缺陷检测设备的工作原理是利用光学、机械和电子等多种技术手段对晶圆进行检测。晶圆被放置在检测平台上,然后通过光学镜头对晶圆进行扫描。扫描过程中,晶圆表面的缺陷会反射出不